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风淋室|净化设备|净化工程
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风淋室/洁净棚
轴流式风机与FFU系统洁净室性能之分析比较

    风淋室的主要目的为维持室内空气中的粉尘粒子、粒径、室内的温湿度、压力、流场、震动、噪音、照明及有害气体等等。因此,风淋室的空调系统对IC的设计、制程、产品的良率及可靠性有很大的影响。另外,由于台湾工业迅速的发展,风淋室已经随着许多的GMP药厂、高精密的电子厂及医院的手术室增加而日益殷切。近几年来,由于科技技术的创新和发展,对于产品的高精度化、细微化的需求更加迫切,如超大集成电路(VLSI)及极大型集成电路(ULSI)的制造,已经成为世界各国在科技上发展的重要项目。南部科学园区的兴建及国内产业结构的大幅的改变,导致国内对于风淋室的需求可说是日益的增加。

     然而风淋室与通用空调最大的不同有以下几点:1、温湿度的要求比一般空调低。2、恒温恒湿的控制。3、对空气质量的要求较严格。4、全外气量与换气次数大。5、风淋室空调系统24小时全天运转。6、气流分布需均匀。7、运转的成本相当的高。8、需与邻近的区域维持压差。当前风淋室之送风系统可以分为轴流风扇型(Axial Fan Type)、风扇-风机滤网机组(Fan Filter Unit)及空调风管型(Air Conditioner Type)三种,图一为此三种系统图。空调风管型系统因为对要求全面层流的无尘室须较高的费用.

FFU(Fan Filter Unit)为风机加上过滤器( ULPA)所构成的一个送风组件,图二为FFU之尺寸图及结构图。FFU系统在1980年已经使用在风淋室上,一般而言,研究FFU考虑的要素有机械性能及过滤性能两种。机械性能通常指送风量、风压、电功率及效率等,过滤性能指的是滤网过滤的效果,风机生成的压力通常消耗在滤网上。

    因此高效率、低压损的滤网的选择也是非常重要的。空气藉由离心式风扇吸入后,在风道中将其动压转换为静压,目的就是使空气经过ULPA Filter后能够均匀的吹出,并使得噪音降低。近年来FFU已经替换轴流风扇(AxialFan)应用在风淋室中,其具有的优点如下:

1、模块化施工,机动性高,容易作FFU日后的增减。

2、FFU风量循环系统压损小,单位循环风量的耗电量较轴流式风扇(Axial Fan)低。

3、FFU耗电量少,相对的噪音也低,不像轴流式风机进出口需加装消音器,所以成本相对的降低。

4、风淋室内压力高于天花板内供气压力,不会有尘埃泄漏至风淋室之虞。


文章来源:http://www.gz-xhsw.com


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